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Molecular Imprints Inc wählt Xaar Inkjet-Technologie für Advanced Manufacturing

26 Februar 2013Categories: Xaar 1001, Druckköpfe, TF Technology

​​Molecular Imprints, Inc. (MII), ein Technologieführer in moderner Halbleiter-Lithografie, hat die Lieferung einer Lithographieplattform der nächsten Generation angekündigt, welche Xaar 1001 Inkjet-Druckköpfe verwendet, um 450-mm-Silizium-Wafer-Substrate herzustellen. 

Xaar, der weltweit führende Lieferant industrieller Inkjet-Druckköpfe, arbeitet eng mit MII bei der Anwendung ihrer J-FIL™-Technologie (Jet and Flash™ Imprint Lithography) zusammen. In der Maschine MII Imprio® 450 kommt eine Spezialausführung des Druckkopfs Xaar 1001 zum Einsatz, um kleine Tröpfchen von Resist-Flüssigkeit gemäß den präzisen Patterning-Anforderungen der J-FIL™-Technologie aufzutragen.

Die ersten mit dem Imprio® 450 strukturierten 450-mm-Wafer wurden von der Intel Corporation auf dem SEMI Industry Strategy Symposium (ISS) im Januar präsentiert. Dies stellt einen wichtigen Schritt in der Halbleiterherstellung dar und beschleunigt den Umstieg der Industrie auf 450-mm-Wafers um zwei Jahre oder mehr.

Die moderne Auslegung des Xaar 1001 mit seiner patentierten TF Technology™ rezirkuliert die Resist-Flüssigkeit direkt an der Rückseite der Düse vorbei. Dadurch werden Temperaturen niedrig und Partikel in Suspension gehalten sowie alle Bläschen aus dem Inneren des Druckkopfs entfernt. Dies ist perfekt für das Auftragen von Funktionsflüssigkeiten, wenn hohe Leistung, Produktivität und Zuverlässigkeit höchste Priorität haben. Diese Anwendung ist ein Beispiel für den zunehmenden Einsatz von Tintenstrahltechnik in Advanced-Manufacturing-Prozessen und unterstreicht die Bestrebungen von Xaar, die Inkjet-Technologie auf neue Märkte auszudehnen. 

„Die Entwicklungsdauer war zwar sehr lang, die Ergebnisse sind jedoch beeindruckend und zeigen, dass die Xaar Technologie das Potenzial hat, ultrapräzise Ergebnisse in einer höchst anspruchsvollen Fertigungsanwendung zu liefern", sagt Mark Alexander, Marketing Director bei Xaar. ​

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